日本进口高纯度溅射靶材

高纯度金属

Al, Co, Cu, Fe, Mg, Mn, Sn

高熔点金属合金

Cr,Mo,Nb,Ta,Ti,V,W系列的合金

非磁性合金

Al, Bi, Cu, Mg, Sn, Zn系列的合金/ Bi2Te3, Mg2Si

磁性合金

Co, Fe, Ni系列的合金/ Co-Fe-B, Co-Pt, Fe-Pt

赫斯勒合金

Co, Fe, Ni基赫斯勒合金

Mn系列的合金

Mn-Al, Mn-Bi, Mn-Ga, Mn-Ir, Mn-Si

合金

Au,Ag,Pt,Pd系列的合金

氧化物

Al₂O₃,MgO,SiO₂,TiO₂,ZnO,La₂O_3，ITO,PZT,STO,LiCoO₂,Li₄Ti₅O₁₂,Li₃PO₄

碳化物

SiC,B₄C,WC

其他化合物

氮化物，氟化物，磷化物，化物，化物

金属相

Co-Cr-Pt, Fe, Fe-Ni, Fe-Pt等各种**属・合金

非金属相

Al₂O₃, MgO, SiO₂等各种氧化物・氮化物

圆球形

直径

φ50.8、φ76.2、φ101.6、φ127、φ152.4、φ203.2、 φ254、φ304.8、φ355.6、φ406.4、φ508、φ533.4

矩形

平面尺寸

127×304.8、127×381、127×508、127×558.8、152.4×508

厚度

ｔ3、ｔ5、ｔ6.35